书 书 书犐犆犛 ７７ ． ０４０ 犎 ２１ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ５２５２ — ２０２０ 代替 ＧＢ ／ Ｔ５２５２ — ２００６ 锗单晶位错密度的测试方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犱犻狊犾狅犮犪狋犻狅狀犱犲狀狊犻狋狔狅犳犿狅狀狅犮狉狔狊狋犪犾犵犲狉犿犪狀犻狌犿 ２０２０  ０６  ０２ 发布 ２０２１  ０４  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E ＧＢ ／ Ｔ５２５２ — ２００６ 《 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C 》。 /G21 /G22 /G23 /G3D ＧＢ ／ Ｔ５２５２ — ２００６ /G3E /G3F ， /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E ： ——— /G44 /G45 /G4F /G22 /G23 /G50 /G51 /G52 /G53 （ /G54 /G55 １ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 １ /G56 ）； ——— /G59 /G5A /G4F /G29 /G52 /G43 /G5B /G51 /G5C /G5D （ /G54 /G55 ２ /G56 ）； ——— /G44 /G45 /G4F /G4A /G5E /G5F /G60 /G61 （ /G54 /G55 ３ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ２ /G56 ）； ——— /G44 /G45 /G4F /G3B /G3C /G62 /G63 /G28 /G64 /G65 （ /G54 /G55 ４ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ３ /G56 ）； ——— /G66 ２００６ /G57 /G58 /G22 /G23 “ /G67 /G68 /G69 /G6A ” /G6B /G28 /G67 /G6C /G6D /G6E /G44 /G45 /G6F /G30 /G70 /G56 /G71 （ /G54 /G55 ５ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ４ /G56 ）； ——— /G44 /G45 /G4F /G67 /G68 /G69 /G6A /G28 /G48 /G72 （ /G54 /G55 ７ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ４ /G56 ）； ——— /G59 /G5A /G4F /G73 /G74 １１０ｍｍ 、 １３０ｍｍ 、 １５０ｍｍ /G2F /G30 /G31 /G28 /G39 /G67 /G75 /G32 /G76 （ /G54 ８．３ ）； ——— /G59 /G5A /G4F /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G77 /G78 /G28 /G79 /G7A /G7B /G7C （ /G54 ８．５ ）； ——— /G44 /G45 /G4F /G67 /G7D /G78 /G7E /G7F /G63 /G28 /G64 /G65 （ /G54 /G55 ９ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ７ /G56 ）； ——— /G80 /G32 /G33 /G37 /G38 １０００ｃｍ －２ /G6F /G81 /G82 /G83 ， /G44 /G45 /G4F /G84 /G37 /G38 （ /G54 /G55 １０ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ９ /G56 ）； ——— /G44 /G45 /G4F /G67 /G7D /G85 /G86 /G87 /G88 /G28 /G64 /G65 （ /G54 /G55 １１ /G56 ， ２００６ /G57 /G58 /G28 /G55 ８ /G56 ）。 /G21 /G22 /G23 /G89 /G8A /G8B /G8C /G8D /G8E /G8F /G6A /G5F /G6D /G6E /G22 /G23 /G4C /G49 /G4A /G90 /G91 /G92 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） /G3D /G8A /G8B /G8C /G8D /G8E /G8F /G6A /G5F /G6D /G6E /G22 /G23 /G4C /G49 /G4A /G90 /G91 /G92 /G6D /G6E /G81 /G49 /G4A /G90 /G91 /G92 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ／ ＳＣ２ ） /G93 /G94 /G95 /G27 /G96 /G97 /G98 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G30 /G32 ： /G99 /G9A /G9B /G9C /G9D /G6D /G6E /G99 /G9E /G9F /GA0 /GA1 /GA2 、 /GA3 /GA4 /G8B /G31 /GA5 /GA6 /G46 /G9B /GA7 /GA8 /G49 /G99 /G9E /GA1 /GA2 、 /G8B /GA9 /GAA /G51 /G39 /G67 /GAB /GAC /GAD /GAE /GAF /GB0 /GA1 /GA2 、 /GB1 /GB2 /GB3 /GB4 /GB5 /GB6 /G2F /GB7 /GAF /GB0 /G99 /G9E /GA1 /GA2 、 /G6B /G8B /G9C /GB8 /GA8 /G49 /GB9 /GBA /GA1 /GA2 /G55 /GBB /GBC /GBD /G9A /GBE /GBF 、 /GC0 /GC1 /GC2 /G8D /GC3 /G6D /GAF /GB0 /G99 /G9E /GA1 /GA2 、 /G6B /G2F /GA8 /G49 /G99 /G9E /GA1 /GA2 、 /G61 /GC4 /GC5 /GC6 /G9D /G6D /G6E /G99 /G9E /GA1 /GA2 。 /G21 /G22 /G23 /G47 /G48 /G2B /G2C /GC7 ： /GC8 /GC9 、 /GCA /GCB /GCC 、 /GCD /G92 /GCE 、 /GCF /GD0 /GD1 、 /GD2 /GD3 、 /GD4 /G9D /GD5 、 /GD6 /GD7 /GD8 、 /GD9 /GDA /GDB 、 /GDC /GDD /GDE 、 /GDF /GE0 /GE1 /G5C 。 　 /G21 /G22 /G23 /GBF /G2D /G2E /G22 /G23 /G28 /GE2 /GE3 /G58 /G21 /GE4 /GE5 /GE6 /GE7 /G6F ： ——— ＧＢ ／ Ｔ５２５２ — １９８５ 、 ＧＢ ／ Ｔ５２５２ — ２００６ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ５２５２ — ２０２０ /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E １ 　 /G2F /G30 /G21 /G22 /G23 /G29 /G60 /G4F /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G37 /G38 /G28 /G39 /G67 /G3B /G3C 。 /G21 /G22 /G23 /G50 /G51 /GE8 ｛ １１１ ｝、｛ １００ ｝ /G5F ｛ １１３ ｝ /GE9 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G37 /G38 /G28 /G39 /G67 ， /G39 /G67 /G52 /G53 /G6F ０ｃｍ －２ ～ １０００００ｃｍ －２ 。 ２ 　 /G31 /G2F /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G4E /GEA /G5C /G5D /GEB /GE8 /G21 /G5C /G5D /G28 /GEC /G51 /GED /GEE /GEF /GF0 /GF1 /G28 。 /GF2 /GED /G79 /GF3 /GF4 /G28 /G5B /G51 /G5C /G5D ， /GF5 /G79 /GF3 /GF4 /G28 /G58 /G21 /G50 /G51 /GE8 /G21 /G5C /G5D 。 /GF2 /GED /GEF /G79 /GF3 /GF4 /G28 /G5B /G51 /G5C /G5D ， /GF6 /GF7 /G9D /G58 /G21 （ /G87 /GF8 /GBF /G99 /G28 /G44 /G45 /G30 ） /G50 /G51 /GE8 /G21 /G5C /G5D 。 ＧＢ ／ Ｔ８７５６ 　 /G2F /G31 /G8E /GF9 /GFA /GFB /GFC ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ 　 /G8C /G8D /G8E /G6D /G6E /G4A /G5E ３ 　 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B ＧＢ ／ Ｔ８７５６ /G5F ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ /G82 /G60 /G28 /G4A /G5E /G5F