ICS77.150.30 H62 中华人民共和国国家标准 GB/T33140—2016 集成电路用磷铜阳极 Phosphorizedcopperanodeusedforintegratedcircuit 2016-10-13发布 2017-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准主要起草人:高岩、何金江、姚力军、曾浩、刘书芹、王学泽、李勇军、徐学礼、赵玉林、刘志杰、 熊晓东、陈明、刘秀、袁海军。 ⅠGB/T33140—2016 集成电路用磷铜阳极 1 范围 本标准规定了集成电路用磷铜阳极(以下简称:磷铜阳极)的要求、试验方法、检验规则及标志、包 装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于集成电路用的各类磷铜阳极产品。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T3177 产品几何技术规范(GPS) 光滑工件尺寸的检验 GB/T5121.2 铜及铜合金化学分析方法 第2部分:磷含量的测定 GB/T5121.4 铜及铜合金化学分析方法 第4部分:碳、硫含量的测定 GB/T5121.28 铜及铜合金化学分析方法 第28部分:铬、铁、锰、钴、镍、锌、砷、硒、银、镉、锡、 锑、碲、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体 质谱法 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T347 铜及铜合金平均晶粒度测定方法 YS/T922 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 磷铜阳极 phosphorizedcopperanode 在集成电路中采用电化学电镀工艺制备高纯铜金属镀层的阳极。 4 要求 4.1 产品分类 4.1.1 磷铜阳极按形状分为圆形、矩形和异形(如三角形、环形等),示意图见图1。 a) 圆形 b) 矩形 c) 环形 图1 磷铜阳极形状示意图 1GB/T33140—2016 4.1.2 磷铜阳极按结构分为单体和组合体,结构示意图见图2。 a) 单体 b) 组合体 图2 磷铜阳极单体和组合体结构示意图 注:需方有特殊要求时,由供需双方商定。 4.2 牌号 磷铜阳极按化学成分分为CuP-99.95、CuP-99.99、CuP-99.995、CuP-99.999四个牌号。 4.3 化学成分 磷铜阳极的化学成分应符合表1的规定。 表1 磷铜阳极的化学成分 牌号 CuP-99.95 CuP-99.99 CuP-99.995 CuP-99.999 Cu+P质量分数/%,不小于 99.95 99.99 99.995 99.999 P质量分数(×10-4)/% 400~650 400~650 400~650 400~650 杂质元素含 量(质量分 数)(×10-4)/ %,不大于Al — 1 0.5 0.5 As 30 2 1 0.5 Ag 30 15 1 0.5 Ca — 2 0.05 0.05 Cr — — 0.1 0.05 Fe 30 2 1 0.5 K — 1 0.05 0.05 Li — 1 0.05 0.05 Mg — 1 0.05 0.05 Mn — 1 0.1 0.05 Ni 20 5 1.5 0.5 Pb 10 2 0.5 0.1 Sn 10 5 1 0.5 Ti — 2 0.1 0.1 V — 2 1 0.5 Zn 10 2 1 0.5 S 30 20 10 5 杂质总含量(质量分数) (×10-4)/%,不大于500 100 50 10 注1:需方对合金元素和杂质元素有特殊要求的,由供需双方协商。 注2:磷铜阳极Cu+P的质量分数为100%减去表中所列杂质元素实测值总和的余量(不含S)。 注3:“—”表示不作要求,但参与减杂。 2GB/T33140—2016 4.4 几何尺寸 磷铜阳极尺寸及结构方式与用户使用的机台类型有关,一般由客户提供图纸,经双方确认后,方可 生产。 4.5 晶粒度 磷铜阳极的平均晶粒尺寸应在150μm~450μm之间。需方有特殊要求时,由供需双方协定。 4.6 外观质量 磷铜阳极表面应清洁、光滑,无指痕、油污、锈蚀、颗粒附着物和其他玷污。 5 试验方法 5.1 化学成分的分析方法 5.1.1 磷的分析:按照GB/T5121.2执行。 5.1.2 杂质元素分析: 合金牌号为CuP-99.99、CuP-99.995、CuP-99.999金属元素分析按照YS/T922执行;合金牌号为 CuP-99.95的金属元素分析按照GB/T5121.28执行;非金属杂质元素S的分析按照GB/T14265和 GB/T5121.4的规定执行。 5.2 几何尺寸检验 磷铜阳极几何尺寸的测量按照GB/T3177的规定进行。 5.3 晶粒度检验 按照YS/T347的规定进行观察、评定和确认。 5.4 外观质量检验 用目视检查,如发现异常现象,在10倍放大镜条件下进行检查。 6 检验规则 6.1 检验和验收 6.1.1 产品应由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准和订货单(或合同)的规定,并填写 质量证明书。 6.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准和订货单(或合同)的规 定不符,应在收到产品之日起1个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样应在需 方由供需双方共同进行。 6.2 组批 产品应成批提交验收。每批应由同一炉号、同一牌号和规格的产品组成。 6.3 检验项目及取样规定 6.3.1 产品应进行化学成分、几何尺寸、平均晶粒尺寸、外观质量检验。检验项目、取样位置及数量见表2。 3GB/T33140—2016 表2 检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号 化学成分 随机 1个样品/锭 4.3 5.1 几何尺寸 整体 逐件 4.4 5.2 晶粒度 见6.3.2 2个样品/1个坯料/批 4.5 5.3 外观质量 整体 逐件 4.6 5.4 注:需方有特殊要求时,由供需双方协定。 6.3.2 晶粒度测定取样:平均晶粒尺寸的检测在磷铜阳极坯料半成品尺寸加工前进行,取样尺寸为 20mm×20mm。取样示意图如图3所示。 a) 圆形 b) 矩形 图3 磷铜阳极晶粒度取样示意图 6.4 检验结果的判定 6.4.1 化学成分检测不合格时,则判该批生产的产品不合格。 6.4.2 几何尺寸检测有一项不合格时,判该件不合格。 6.4.3 晶粒度抽检不合格时,判该件不合格;剩余产品取双倍试样进行重复试验,重复试验若有一项不 合格时,则判整批产品不合格。 6.4.4 外观质量不合格时,判该件产品不合格。 7 标志、包装、运输、贮存和质量证明书 7.1 标志 7.1.1 每块检验合格的磷铜阳极上应进行如下标记: a) 供应商名称; b) 产品名称和牌号; c) 产品类型、规格; d) 批号。 7.1.2 产品外包装上应贴标签,内容包括: a) 供应商名称; b) 产品名称和牌号; 4GB/T33140—2016 c) 批号; d) 生产日期; e) 生产企业地址; f) 产品标准。 7.2 包装 7.2.1 产品包装应至少在万级洁净间内进行,每块磷铜阳极独立真空包装。 7.2.2 外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有软质填充。将质量证明书用塑封袋装好后放于 包装盒内。 7.3 运输和贮存 运输和贮存过程中,应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。 7.4 质量证明书 每批产品应附有质量证明书,其上注明: a) 供方名称; b) 产品名称; c) 牌号; d) 规格; e) 数量; f) 净重; g) 批号; h) 检测报告; i)生产日期(或包装日期); j)本标准编号。 8 订货单(或合同)内容 订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容: a) 产品名称; b) 牌号; c) 规格; d) 数量; e) 本标准编号; f) 其他。 5GB/T33140—2016