ICS25.080.01 J50 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T40807—2021/IS029262:2011 微系统用生产设备未端执行器与处理器的接口 Production equipment for microsystems-Interface between end effector and handling system (ISO29262:2011,IDT) 2021-10-11发布 2022-05-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T40807—2021/ISO29262:2011 目次前言引言 1 范围规范性引用文件 2 3 术语和定义 4 一般要求 5 接口定义 5.1 坐标系 5.2 第一层机械接口 5.3 第二层服务接口 5.4 第三层总线接口 5.5 公差 5.6 负载能力 12 5.7 标识 12 附录A（规范性附录）固定接口测量方法，PR 14 参考文献 15

GB-T 40807-2021 微系统用生产设备末端执行器与处理器的接口

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