ICS 31.030 L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T 15871—1995 硬面光掩模基板 Hard surface photomask substrates 1995-12-22发布 1996-08-01实施国家技术蓝督局发布 GB/T 15871—1995 前言本标准非等效采用SEMI标准SemiP1一92《硬面光掩模基板》。本标准基板技术要求全部按SemiP1--92中第4章至第8章制定。本标准附录A是提示的附录。本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良。

GB-T 15871-1995 硬面光掩模基板

文档预览

中文文档 13 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共13页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

下载文档到电脑，方便使用

赞助2元下载

本文档由人生无常于 2024-06-26 14:00:00上传分享

下载原文档(5.5 MB)

友情链接

交流群

-->