ICS17.180.99 N30 中华人民共和国国家标准 GB/T11153—2012 代替GB/T11153—1989 激 光小功率计性能检测方法 Testmethodsoflaserpowermeterinlower-range 2012-12-31发布 2013-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布中华人民共和国 国家标准 激光小功率计性能检测方法 GB/T11153—2012 * 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址:www.gb168.cn 服务热线:010-51780168 010-68522006 2013年5月第一版 * 书号:155066·1-46840 版权专有 侵权必究 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T11153—1989《激光小功率计性能检测方法》,与GB/T11153—1989相比主要变 化如下: ———修改了标准的适用范围(见第1章,1989年版的第1章); ———删除了对激光源光束空间参数的要求(见1989年版的5.2a和5.2c); ———增加了对标准激光功率计和参考激光功率计的要求(见5.3和5.7); ———删除了对参考探测器、显示仪器的要求(见1989年版的5.5、5.6和5.7); ———修改了基本检测装置(框图)(见图1,1989年版的图1); ———修改了响应度随时间的变化(见5.7,1989年版的第12章),删除了由激光照射引起的响应度 随时间变化的检测(见1989年版的12.1); ———修改了响应度校准不确定度的检测(见5.9,1989年版的第14章); ———删除了附录A和附录B(见1989年版附录A和附录B)。 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC153)归口。 本标准起草单位:北京光电技术研究所。 本标准主要起草人:满春阳、陆耀东、罗志军。 本标准所替代标准的历次版本发布情况为: ———GB/T11153—1989。 ⅠGB/T11153—2012 激光小功率计性能检测方法 1 范围 本标准规定了对功率范围为0.1mW~100mW的激光小功率计(简称仪器)性能检测的方法。 本标准适用于0.1mW~100mW激光小功率计的研制和生产检验,其他功率范围的激光功率测 试仪器也可参考使用。 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 响应度 responsivity S(S=Y/X) 激光功率计输出量Y与产生这一输出量的输入量X之商。 2.2 响应度随入射功率的变化 dependenceofresponsitivityonradiantpower F1 在激光功率计的测量范围内,响应度因待测量激光功率变化而产生的相对变化。 2.3 探测器光敏面上响应度的变化 changeofresponsivityoverthedetectorsurface F2 探测器光敏面上各点响应度的最大相对变化。也可以定义为探测器光敏面上各点响应度的相对标 准差。 2.4 响应度在辐照期间的变化 changeofresponsivityduringirradiation F3 激光功率计在激光辐射期间所产生的可以恢复的响应度相对变化。 2.5 响应度随温度的变化 temperaturedependenceofresponsivity F4 激光功率计在规定的环境温度内响应度可以恢复的相对变化。 2.6 零点漂移 zerodrift F5 激光功率计的示值在没有任何激光和其他光辐射时随时间的相对变化。 2.7 由存储引起的响应度随时间的变化 changeofresponsivitybystorage F6 激光功率计由于存储条件而产生的不可恢复的响应度相应变化。 1GB/T11153—2012 2.8 响应度随入射角及偏振态的变化 dependenceofresponsivityontheangleofincidenceandpolari- zation F7 对不同偏振状态的激光光束,当被测激光偏离规定入射激光功率计探测器时,所引起的响应度的最 大相对变化。 2.9 相对示值偏差 relativeerrorofindication F8 激光功率计响应度的标称值与标准值的相对误差,称为相对示值偏差。 3 基本检测条件 3.1 环境条件 除另有规定外,检测应在室内进行,并应满足下列条件: a) 环境温度:(23±5)℃; b) 相对湿度:≤80%; c) 空气流动速度:≤0.05m/s; d) 供电电源:交流220(1±5%)V,频率50(1±2%)Hz; e) 检测系统应避免杂散光,屏蔽电磁辐射和防止机械振动。 3.2 技术要求 除另有规定外,检测时还应注意下列要求: a) 待检仪器的预热应按照使用说明等技术文件的规定时间进行。没有明确规定的可根据仪器的 稳定情况进行10min~30min的预热。 b) 本标准所给公式中采用的检测数据应是在该点重复测试n次的平均值,通常n≥3。 c) 当光源的输出水平受限时,允许将仪器的衰减器、探测器和显示器等在一定的条件下分解测 试。组合后应重新校准。 d) 如果待测仪器的使用说明书等技术文件对其使用条件做出了限制,则在其规定范围内进行 检测。 4 基本检测装置 4.1 基本检测装置框图 基本检验装置如图1所示,测试时可根据所检参数、环境条件和光源稳定性的需要增减图中虚线所 示设备。 4.2 激光光源(或模拟光源) 除另有规定外,激光光源应符合下列规定: a) 输出波长为待检仪器规定的使用波长,或在其规定使用的波长范围之中; b) 输出功率的稳定性优于±0.2%/5min,±0.5%/30min。 2GB/T11153—2012 4.3 标准激光功率计 除另有规定外,激光功率计应符合下列规定: a) 测量范围0.1mW~200mW,可以是多台仪器共同完成; b) 扩展不确定度小于4%(k=2)。 图1 基本检测装置 5 检测方法 5.1 探测器表面损伤阈值的检测 5.1.1 检测步骤: a) 按图1建立检测装置。 b) 测量照射到仪器探测器光敏面的激光光斑直径,根据仪器给出的损伤阈值指标计算所需激光 功率。 c) 移开挡光板,调整激光输出功率,使标准功率计的显示达到检测所需量值。如果激光输出功率 低于所需量值,可在光路中插入聚光器,减小激光光斑直径,达到所需量值。 d) 被测仪器不需开机,用激光照射仪器探测器光敏面10min。 5.1.2 仪器探测器光敏面应没有烧蚀的痕迹,开机后应能正常工作,各项技术指标应满足技术文件规 定的要求。 5.2 响应度随入射功率变化(非线性度)的检测 5.2.1 检测步骤: a) 按图1建立检测装置; b) 设置并记录待检仪器的量程; c) 调整激光输出功率,使待检仪器的示值为该量程最大值的80%,记录待检仪器和标准仪器的 示值,并计算比值s1H,见式(1): s1H=IH/YH …………………………(1) 式中: s1H———待检仪器的示值为该量程最大值80%时,与标准仪器示值之比; IH———待检仪器的示值; YH———标准仪器的示值。 d) 调整激光输出功率,使待检仪器的示值为该量程最大示值的30%,记录待检仪器和标准仪器 的示值,并计算比值s1L,见式(2): 3GB/T11153—2012 s1L=IL/YL ………………………………(2) 式中: s1L———待检仪器的示值为该量程最大示值的30%时,与标准仪器示值之比; IL———待检仪器的示值; YL———标准仪器的示值。 e) 此量程响应度随入射功率的变化(非线性度)F1见式(3): F1=±s1H-s1L s1H-s1L×100%…………………………(3) 式中: F1———此量程响应度随入射功率的变化(非线性度); f) 重复b)~e)的规定,检测各个量程响应度随入射功率的变化(非线性度)。 5.2.2 可以分别标出各量程的响应度随入射功率的变化(非线性度)的值,也可以各量程响应度随入射 功率的变化(非线性度)的最大值为待检仪器的响应度随入射功率的变化(非线性度)F1。 5.3 探测器光敏面上响应度变化(不均匀性)的检测 5.3.1 检测装置: a) 检测装置如图1; b) 待检仪器的探测器安装在二维光学调整架上,使其可以在基本垂直于入射光传播方向上作水 平和垂直移动; c) 需要时可以用聚光器调整入射到待检仪器探测器光敏面上光束的直径。 5.3.2 检测条件: a) 入射到探测器光敏面上激光光束的直径应在探测器光敏面直径(或对角线)的1/5; b) 最基本的检测点选取应为待检测探测器光敏面上的中心点,和由中心点出发向上、下、左、右 4个方向所做的射线上的点; c) 激光光斑直径的外沿与光敏面边缘的距离不小于光敏面直径的1/3。 5.3.3 检测步骤: a) 按5.3.2a)的规定调整好光束直径; b) 调整待检测探测器的位置使激光光束投射在其光敏面中心点上,记录待检仪器和标准仪器的 输出示值,计算其比值s20: s20=I0/Y0 …………………………(4) 式中: s20———在中心点上,待检测仪器和标准仪器示值之比; I0———待检仪器的示值; Y0———标准仪器的示值。 c) 调整待检测仪器探测器的位置,使激光光束投射在第i个检测点上;记录待检测仪器和标准仪 器的示值,计算其比值: s2i=Ii/Y