书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １４６０１ — ２００９ 代替 ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 电子工业用气体 　 氨 犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔 — 犃犿犿狅狀犻犪 ２００９  １０  ３０ 发布 ２０１０  ０５  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 《 电子工业用气体 　 氨 》。 本标准与 ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 相比主要变化如下 ： ——— 修改标准的名称 ； ——— 修改适用范围 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的第 １ 章 ， 本版的第 １ 章 ）； ——— 修改规范性引用文件 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的第 ２ 章 ， 本版的第 ２ 章 ）； ——— 修改技术指标内容 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的第 ３ 章 ， 本版的第 ３ 章 ）； ——— 增加对氨尾气处理的要求 （ 见 ４．３ ）； ——— 删去按 ＧＢ５８３１ 规定的方法测定氧含量 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的 ４．２．１ ）； ——— 修改氧 、 氮 、 一氧化碳含量的测定 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的 ４．２ 、 ４．３ 、 ４．４ ， 本版的 ４．４ ）； ——— 增加氢 、 氩含量的测定 （ 见 ４．４ ）； ——— 增加二氧化碳含量的测定 （ 见 ４．４ ）； ——— 修改烃含量的测定 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的 ４．５ ， 本版的 ４．４ ）； ——— 修改水含量的测定方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的 ４．６ ， 本版的 ４．５ ）； ——— 增加金属离子的测定方法 （ 见 ４．６ ）； ——— 修改标志 、 包装 、 贮运及安全 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 的第 ６ 章 、 第 ７ 章 ， 本版的第 ５ 章 ）； ——— 增加规范性附录 Ａ ， 并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢 、 氧 （ 氩 ）、 氮 、 一氧化碳 、 二氧化碳和烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含量组分的方法写入该附录 （ 见附录 Ａ ）。 本标准的附录 Ａ 为规范性附录 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口 。 本标准起草单位 ： 大连光明化工研究院 、 中国西南油气田成都天然气化工总厂 、 武汉市鼎立化工有 限责任公司 、 西南化工研究设计院 。 本标准主要起草人 ： 孙福楠 、 刘泽军 、 付永成 、 谢国清 、 周鹏云 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ１４６０１ — １９９３ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １４６０１ — ２００９ 电子工业用气体 　 氨 １ 　 范围 本标准规定了氨的技术要求 ， 试验方法 ， 检验规则及产品的包装 、 标志 、 运输 、 贮存及安全要求 。 本标准适用于半导体工业 ， 氮化硅 、 氮化镓的化学气相淀积 ， 也可用于硅或氧化硅的氮化 。 分子式 ： ＮＨ ３ 。 相对分子质量 ： １７．０３１ （ 按 ２００５ 年国际相对原子质量 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本标准 ， 然而 ， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本标准 。 ＧＢ１９０ — ２００９ 　 危险货物包装标志 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ７１４４ 　 气瓶颜色标志 ＧＢ１４１９３ 　 液化气体气瓶充装规定 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 ３ 　 技术要求 ３ ． １ 　 氨电子级产品的质量应符合表 １ 的要求 。 表 １ 　 电子级产品技术指标 项 　　 目 电子级 氨 （ ＮＨ ３ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９９５ 氧 （ Ｏ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ 烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ 水分 （ Ｈ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ３ 总杂质含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ ５ ３ ． ２ 　 氨光电子级产品应符合表 ２ 的要求 ， 重金属含量应符合表 ３ 的规定 。 表 ２ 　 光电子级产品技术指标 项 　　 目 光电子级 氨 （ ＮＨ ３ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９９９４ 氧 （ Ｏ ２ ）（ 氩 ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ 氢 （ Ｈ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．０５ １ 犌犅 ／ 犜 １４６０１ — ２００９ 表 ２ （ 续 ） 项 　　 目 光电子级 二氧化碳 （ ＣＯ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ 烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．０５ 水分 （ Ｈ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．２ 总杂质含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ ０．６ 表 ３ 　 光电子级产品重金属技术指标 重金属含量 ／ １０ －６ （ 质量分数 ） 气相 液相 锑 （ Ｓｂ ） ＜ ０．０１ ０．０１ 镉 （ Ｃｄ ） ＜ ０．０１ ０．０１ 钙 （ Ｃａ ） ＜ ０．０１ ０．０５ 铬 （ Ｃｒ ） ＜ ０．０１ ０．０５ 钴 （ Ｃｏ ） ＜ ０．０１ ０．０１ 铜 （ Ｃｕ ） ＜ ０．０１ ０．０５ 镓 （ Ｇａ ） ＜ ０．００１ ０．０１ 碲 （ Ｔｅ ） ＜ ０．０５ ０．１ 铅 （ Ｐｂ ） ＜ ０．０１ ０．０１ 锂 （ Ｌｉ ） ＜ ０．００１ ０．００１ 镁 （ Ｍｇ ） ＜ ０．０１ ０．０５ 锰 （ Ｍｎ ） ＜ ０．０１ ０．０５ 钼 （ Ｍｏ ） ＜ ０．０１ ０．０１ 镍 （ Ｎｉ ） ＜ ０．０１ ０．１ 钾 （ Ｋ ） ＜ ０．００１ ０．００１ 硅 （ Ｓｉ ） ＜ ０．０１ ０．０５ 钠 （ Ｎａ ） ＜ ０．０１ ０．０１ 锡 （ Ｓｎ ） ＜ ０．０１ ０．１ 锌 （ Ｚｎ ） ＜ ０．０１ ０．０５ ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 抽样 、 判定和复验 ４ ． １ ． １ 　 氨产品应逐一检验并验收 。 当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时 ， 则判该产品 不合格 。 生产企业应确保每一包装氨产品符合本标准技术要求 。 ４ ． １ ． ２ 　 氨采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的相关规定 。 ４ ． ２ 　 氨纯度 ４ ． ２ ． １ 　 电子级产品纯度按式 （ １ ） 计算 ： Φ ＝ １００ － （ Φ １ ＋ Φ ２ ＋ Φ ３ ＋ Φ ４ ＋ Φ ５ ） × １０ － ４ …………………………（ １ ） 　　 式中 ： Φ ——— 氨纯度 （ 体积分数 ）， １０ －２ ； ２ 犌犅 ／ 犜 １４６０１ — ２００９ Φ １ ——— 氧含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ２ ——— 氮含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ３ ——— 一氧化碳含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ４ ——— 烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ５ ——— 水分含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ 。 ４ ． ２ ． ２ 　 光电子级产品纯度按式 （ ２ ） 计算 ： Φ ＝ １００ － （ Φ １ ＋ Φ ２ ＋ Φ ３ ＋ Φ ４ ＋ Φ ５ ＋ Φ ６ ＋ Φ ７ ） × １０ － ４ …………………（ ２ ） 　　 式中 ： Φ ——— 氨纯度 （ 体积分数 ）， １０ －２ ； Φ １ ——— 氧含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ２ ——— 氩含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ３ ——— 氢含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ４ ——— 一氧化碳含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ５ ——— 二氧化碳含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ６ ——— 烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ７ ——— 水分含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ 。 ４ ． ３ 　 测定氨中的杂质含量时 ， 应有氨尾气处理措施 ， 以防止氨对环境的污染 。 ４ ． ４ 　 氢 、 氧 （ 氩 ）、 氮 、 一氧化碳 、 二氧化碳 、 烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含量的测定 ４ ． ４ ． １ 　 氢 、 氧 （ 氩 ）、 氮 、 一氧化碳 、 二氧化碳 、 烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 的测定见附录 Ａ 。 ４ ． ４ ． ２ 　 允许采用其他等效的方法测定氨中的微量氢 、 氧 （ 氩 ）、 氮 、 一氧化碳 、 二氧化碳和烃 （ Ｃ １ ～ Ｃ ３ ） 含