书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １６９４３ — ２００９ 代替 ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 电子工业用气体 　 氦 犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔 — 犎犲犾犻狌犿 ２００９  １０  ３０ 发布 ２０１０  ０５  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 《 电子工业用气体 　 氦 》。 本标准与 ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 相比主要变化如下 ： ——— 修改氦的适用范围 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 的第 １ 章 ， 本版的第 １ 章 ）； ——— 修改规范性引用文件 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 的第 ２ 章 ， 本版的第 ２ 章 ）； ——— 修改技术指标内容 ： 增加一类产品纯度和杂质含量 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 的第 ３ 章 ， 本版的第 ３ 章 ）； ——— 修改瓶装氦抽样方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 的 ４．１ ， 本版的 ４．１．１ ）； ——— 增加集装阁装 、 大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氦产品并规定检验方法 （ 见 ４．１．１ ）； ——— 增加管道输送的氦产品并规定检验方法 （ 见 ４．１．２ ）； ——— 增加氦的采样安全要求 （ 见 ４．１．３ ）； ——— 增加新的分析方法 ： 增加用氦放电离子化气相色谱法测定氦中的氧 、 一氧化碳和二氧化碳组 分 ； 增加其他方法测定总烃含量 ； 当出现多种分析方法时 ， 增加规定仲裁方法 （ 见 ４．３ ）； ——— 修改水分的测定方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的 ４．５ ， 本版的 ４．５ ）； ——— 修改标志 、 包装 、 贮运及安全 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 的第 ５ 章 ， 本版的第 ５ 章 ）； ——— 增加安全要求 （ 见 ５．６ ）； ——— 增加规范性附录 Ａ ， 并把采用氦离子化气相色谱法测定氦中的氧 、 氮 、 一氧化碳和二氧化碳组 分的方法写入该附录 （ 见附录 Ａ ）。 本标准的附录 Ａ 为规范性附录 。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口 。 本标准起草单位 ： 西南油气田分公司成都天然气化工总厂 、 北京氦普北分气体工业有限公司 、 西南 化工研究设计院 。 本标准主要起草人 ： 刘泽军 、 付永成 、 赵俊秀 、 周鹏云 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ１６９４３ — １９９７ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １６９４３ — ２００９ 电子工业用气体 　 氦 １ 　 范围 本标准规定了氦的技术要求 ， 试验方法以及包装 、 标志 、 贮运及安全 。 本标准适用于以深冷法从天然气 、 空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦 ， 以及经纯化方法得到 的氦 。 它们在半导体制造中用作清洗气 、 加压气 ， 也用作载气和保护气等 。 分子式 ： Ｈｅ 。 相对分子质量 ： ４．００３ （ 按 ２００５ 年国际相对原子质量 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本标准 ， 然而 ， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本标准 。 ＧＢ１９０ — ２００９ 　 危险货物包装标志 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ５０９９ 　 钢质无缝气瓶 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 　 气体中湿度的测定 　 电解法 ＧＢ ／ Ｔ６２８５ 　 气体中微量氧的测定 　 电化学法 ＧＢ７１４４ 　 气瓶颜色标志 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 　 气体中一氧化碳 、 二氧化碳和碳氢化合物的测定 　 气相色谱法 ＧＢ１４１９４ 　 永久气体气瓶充装规定 ＧＢ１６９１２ 　 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程 气瓶安全监察规程 压力容器安全监察规程 压力管道安全管理与监察规定 ３ 　 技术要求 ３ ． １ 　 氦的质量应符合表 １ 的要求 。 表 １ 　 技术指标 项 　　 目 指 　　 标 氦气 （ Ｈｅ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９９９ ９９．９９９５ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 和二氧化碳 （ ＣＯ ２ ） 总含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ 一氧化碳 ： ０．１ 二氧化碳 ： ０．１ １ 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．５ ２ 氧 （ Ｏ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．２ ０．５ 总烃 （ 以甲烷计 ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ ０．５ 水分 （ Ｈ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．２ ０．５ 杂质总含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １ ５ 颗粒 供需双方商定 供需双方商定 １ 犌犅 ／ 犜 １６９４３ — ２００９ ３ ． ２ 　 液态氦的水分应气化后测定 。 ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 抽样 、 判定和复验 ４ ． １ ． １ 　 瓶装 、 集装阁装 、 大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氦产品应逐一检验并验收 。 当检验结果有 任何一项指标不符合本标准技术要求时 ， 则判该产品不合格 。 生产企业应确保每一包装氦产品符合本 标准技术要求 。 ４ ． １ ． ２ 　 对稳定生产的管道输送的氦由供需双方确定抽样方案 。 企业应确保管道输送的氦产品符合本 标准技术要求 。 ４ ． １ ． ３ 　 氦采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的相关规定 。 ４ ． ２ 　 氦纯度 氦纯度按式 （ １ ） 计算 ： Φ ＝ １００ － （ Φ １ ＋ Φ ２ ＋ Φ ３ ＋ Φ ４ ＋ Φ ５ ） × １０ － ４ …………………………（ １ ） 　　 式中 ： Φ ——— 氦纯度 （ 体积分数 ）， １０ －２ ； Φ １ ——— 氧含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ２ ——— 氮含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ３ ——— 一氧化碳 ＋ 二氧化碳含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ４ ——— 总烃 （ 以甲烷计 ） 含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ５ ——— 水分含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ 。 ４ ． ３ 　 氧 、 氮 、 一氧化碳和二氧化碳的测定 ４ ． ３ ． １ 　 氧 、 氮 、 一氧化碳和二氧化碳的测定见附录 Ａ 。 ４ ． ３ ． ２ 　 允许按 ＧＢ ／ Ｔ６２８５ 规定的方法或其他等效的方法测定氦中的微量氧 。 当测定结果有异议时 ， 以 ４．３．１ 规定的方法为仲裁方法 。 ４ ． ３ ． ３ 　 允许按 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定的方法或其他等效的方法测定氦中的微量一氧化碳和二氧化碳 。 当以 上测定结果有异议时 ， 以 ４．３．１ 规定的方法为仲裁方法 。 仪器检测限 ： ０．０５×１０ －６ （ 体积分数 ）。 ４ ． ３ ． ４ 　 允许采用其他等效的方法测定电子工业用气体氦中氮含量 。 当测定结果有异议时 ， 以 ４．３．１ 规 定的方法为仲裁方法 。 ４ ． ４ 　 总烃 （ 以甲烷计 ） 的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定的方法或其他等效的方法测定氦中的微量总烃含量 。 当以上测定结果有异议 时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定的方法为仲裁方法 。 仪器检测限 ： ０．０５×１０ －６ （ 体积分数 ）。 ４ ． ５ 　 气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为 （ １ ～ ５ ） ×１０ －６ （ 体积分数 ）， 平衡气为氦 。 ４ ． ６ 　 水分含量的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 执行 。 仪器检测限 ： ０．０５×１０ －６ （ 体积分数 ）。 允许采用其他等效的方法测定氦中水分含量 。 当测定结果有异议时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 规定的方法 为仲裁方法 。 ５ 　 标志 、 包装 、 贮运及安全 ５ ． １ 　 氦气瓶应符合 ＧＢ５０９９ 的规定 ， 气瓶颜色标记应符合 ＧＢ７１４４ 的规定 。 运输时 ， 氦气瓶上应附有 ２ 犌犅 ／ 犜 １６９４３ — ２００９ ＧＢ１９０ — ２００９ 中第 ３ 章指定的标志 。 ５ ． ２ 　 推荐使用进行内表面处理的气瓶 ， 气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求 。 ５ ． ３ 　 包装容器上应标明 “ 电子氦 ” 字样 。 ５ ． ４ 　 充装 、 贮运 ５ ． ４ ． １ 　 瓶装氦应符合 ＧＢ１４１９４ 以及 《 气瓶安全监察规程 》 的相关规定 。 ５ ． ４ ． ２ 　 管道输送的气态氦应符合 《 压力管道安全管理与监察规定 》。 ５ ． ５ 　 瓶装氦的成品压力在 ２０℃ 时不低于 １３．５ＭＰａ 。 用于测量的压力表精度不低于 ２．５ 级 。 ５ ． ６ 　 返厂氦气钢瓶的余压不应低于 ０．２ＭＰａ 。 余压不符合要求的气瓶 ， 水压试验后的气瓶以及新气瓶 等在充装前应按规定要求进行加热 、 抽空和置换 。 ５ ． ７ 　 氦出厂时应附有质量合格证 ， 其内容至少应包括 ： ——— 产品名称 ， 生产厂名