ICS23.160 J 78 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25755—2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 Vacuum technologySputter-ion pumpsMeasurement of performance characteristics 2010-12-23发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25755—2010 前言 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。 1 GB/T257552010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 1范围 本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3Pa到1×10-7Pa。 注：本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室 所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T3163真空技术术语（GB/T3163—2007，ISO3529：1981,MOD）。 3术语和定义 GB/T3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3. 1 极限压力 ultimatepressure 测试罩中逐渐趋近的压力值。 注1：它是泵能获得的最低压力。 注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本标准中不给出极限压力的测量程序。但如果制造厂列出极限 压力，则应当说明完成测量的工作条件。 3.2 最低工作压力 minimum operational pressure po 泵在关闭进气阀、烘烤过程结束后48h内在测试罩中逐渐接近的最低压力。 体积流率 volumeflowrate qv 在理想条件下，单位时间从测试罩流过离子泵入口的气体体积。 注1：出于实际测量的原因，离子泵对给定气体的体积流率通常约定为等于该气体的流量与给定点的平衡压力之 商，体积流率采用的单位为立方米每秒（m²/s)或升每秒（L/s)。 注2：有时用术语"抽速”和符号“s”来代替体积流率。 3.3 名义抽速 nominal pumping speed S. 对饱和的离子泵所测得的体积流率的最大值称作名义抽速。 注1：应给出在测此名义抽速时所测得的压力。 注2：如果用名义抽速作为离子泵的标志，则一般不得超过实际测量值的10%。 1 GB/T25755—2010 3. 4 启动压力 maximum starting pressure ps 启动压力是指在关闭前级真空泵之后接通离子泵并开始有效地抽气的最大压力。 4符号和缩略语 符号 单位 名称 c 流导 立方米/秒（m/s） D 测试罩名义直径 米(m) d 隔板小孔直径 米(m) 隔板孔缘直径 米(m) e M 气体克分子质量 千克/摩尔（kg/mol) ps 启动压力 帕(Pa) 体积流率 立方米/秒（m²/s） qv R 理想气体常数 牛·米/摩尔·开LN·m/（mol·K） S. 名义抽速 立方米/秒（m/s) T 热力学温度 开(K) 5最低工作压力的测量 5.1测量条件 5.1.1气体种类 作为测量用气体，一般可以用氮气或氩气，不过其他气体如氢气和氢气也可以用来做测量气体。最 低工作压力通常是以氮气等效压力给出的，其他气体的最低工作压力用各自测量用气体的等效压力 给出。 5.1.2密封性 包括离子泵在内的测量装置漏率不得大于1×10-9Pa·m"/s。 5.1.3真空泵 所测量的离子泵按制造厂家的规定条件进行驱动。建议使用离子泵制造厂家的配套电源。前级泵 不能用被有机气体污染过的，且应能够达到离子泵的启动压力 5.2测量仪器 5.2.1真空计 测量用电离真空计应经过校准，配合测试罩2（见图2）测体积流率的真空计（含电离规管）在所测量 的压力范围内，压力读数误差不能超过士10%。配合测试罩1（见图1）测最低工作压力、体积流率的真 空计（含电离规管），误差不得超过土20%。 5.2.2测试罩及其使用条件 5.2.2.1测试罩 测试罩具有圆形的断面，其名义直径为D。对于入口法兰直径大于或等于名义直径DN10O的离子 泵，D与离子泵入口法兰名义直径相同；对于人口法兰名义直径小于DN100的离子泵，D与DN100名 义直径相同，而不考虑离子泵的大小，到离子泵入口法兰用连接件（见图3）连接。测试罩顶部为平的、 圆弧形或斜面，但距法兰平面应具有相同的平均高度。测试罩与离子泵之间连接法兰的密封圈由制造 厂推荐，测试罩应能承受400℃真空烘烤。测试罩上设有能均匀地加热到300℃的加热装置。 2 GB/T 25755—2010 单位为毫米 5D 13 图1 测试罩1 单位为毫米 5D 09 .15 图2测试罩2